有哪些
1. 設(shè)備檢查
2. 啟動(dòng)與運(yùn)行
3. 應(yīng)急處理
4. 停止與關(guān)閉
5. 維護(hù)保養(yǎng)
目的和意義
立式爐作為關(guān)鍵生產(chǎn)設(shè)備，其安全操作規(guī)程旨在保障員工的生命安全，防止設(shè)備損壞，確保生產(chǎn)過程的穩(wěn)定與高效。通過規(guī)范操作流程，減少因誤操作引起的事故，提高生產(chǎn)效率，同時(shí)保護(hù)環(huán)境，實(shí)現(xiàn)可持續(xù)發(fā)展。
注意事項(xiàng)
1. 設(shè)備檢查
- 在每次操作前，務(wù)必檢查立式爐各部件是否完好，包括爐體、加熱元件、控制系統(tǒng)及安全裝置。
- 確保電氣線路無破損，接地良好，防止觸電風(fēng)險(xiǎn)。
- 檢查供氣系統(tǒng)，確保無泄漏，閥門開啟正常。
2. 啟動(dòng)與運(yùn)行
- 按照操作手冊(cè)啟動(dòng)設(shè)備，逐步調(diào)整至工作狀態(tài)，不得擅自加速或跳過步驟。
- 監(jiān)控爐內(nèi)溫度和壓力，保持在設(shè)定范圍內(nèi)，避免超限導(dǎo)致設(shè)備損壞或安全事故。
- 運(yùn)行過程中，禁止打開爐門，以防熱氣外溢造成傷害。
3. 應(yīng)急處理
- 發(fā)現(xiàn)異常情況如設(shè)備故障、煙氣泄漏等，應(yīng)立即按下緊急停止按鈕，并報(bào)告給負(fù)責(zé)人。
- 在火警或火災(zāi)情況下，使用專用滅火器材，同時(shí)撤離現(xiàn)場(chǎng)并通知消防部門。
4. 停止與關(guān)閉
- 按規(guī)定程序逐步降低設(shè)備負(fù)荷，待爐內(nèi)溫度降至安全范圍后，方可關(guān)閉電源。
- 關(guān)閉供氣閥門，清理爐內(nèi)殘留物料，確保設(shè)備清潔。
5. 維護(hù)保養(yǎng)
- 定期進(jìn)行設(shè)備維護(hù)，包括清潔、潤(rùn)滑、緊固等，確保設(shè)備性能良好。
- 對(duì)磨損或損壞的部件及時(shí)更換，避免影響設(shè)備壽命和安全性。
- 記錄每次操作及維護(hù)情況，以便跟蹤設(shè)備狀態(tài)，提前預(yù)見并解決問題。
立式爐的安全操作不僅關(guān)乎生產(chǎn)效率，更關(guān)乎每一位操作者的安全。請(qǐng)大家務(wù)必嚴(yán)格遵守規(guī)程，將安全意識(shí)融入日常工作中，共同營(yíng)造一個(gè)安全、高效的生產(chǎn)環(huán)境。
立式爐安全操作規(guī)程范文
1. 目的
為dj-802v型lpcvd立式爐的開關(guān)機(jī)安全操作以及設(shè)備緊急避險(xiǎn)提供指導(dǎo)。
2. 范圍：
本規(guī)程適用于dj-802v型lpcvd立式爐安全技術(shù)操作。
3. 參考
《設(shè)備安全使用管理制度》
4. 職責(zé)
4.1. 設(shè)備工程師負(fù)責(zé)設(shè)備的正常開、關(guān)機(jī)操作的培訓(xùn)和指導(dǎo)；
4.2. 擴(kuò)散操作者以及設(shè)備工程師等相關(guān)人員可執(zhí)行設(shè)備的緊急避險(xiǎn)程序。
5. 開機(jī)前確認(rèn)
5.1. 開機(jī)前確認(rèn)住控制器開關(guān)、傳片單元開關(guān)、顯示器開關(guān)、爐體加熱開關(guān)、控制器電源開關(guān)、dn-130p極限溫度控制器電源開關(guān)、ffu電源開關(guān)、照明燈電源開關(guān)都在“off”位置；若不在，則將開關(guān)調(diào)整至“off”位置。
圖片
5.2. 開機(jī)前動(dòng)力條件確認(rèn)：打開閥門后觀察氮?dú)鈮毫?、硅烷壓力、二氯二氫硅壓力、笑氣壓力、氨氣壓力、壓縮空氣壓力、冷卻水壓力均在壓力表綠色區(qū)間內(nèi)。氣體壓力，sih4：2±1kg/cm2，sih2cl2：0.7±0.1 kg/cm2，n20：2±1 kg/cm2，氨氣：2±1 kg/cm2，n2：2±1 kg/cm2，壓空：5±1 kg/cm2。冷卻水流量，正常值為500±10cc/min。
圖片
5.3. lpcvd的真空泵氮?dú)鈮毫屠鋮s水壓力都在額定值范圍內(nèi)。（能通過真空泵控制面板的自檢）
6. 操作順序
6.1. 打開120v、280v電源開關(guān)
6.2. 依次打開控制器電源開關(guān)、dn-130p極限溫度控制器電源開關(guān)、ffu電源開關(guān)、照明燈電源開關(guān)、主控制器開關(guān)、傳送單元開關(guān)、顯示器開關(guān)、爐體加熱開關(guān)。
6.3. 顯示器上提示“backup memory initialize ok？”按f1鍵確認(rèn)。
6.4. 真空系統(tǒng)建立
6.4.1. 確認(rèn)各閥門動(dòng)作正常且大閥處于關(guān)閉狀態(tài)（閥控制面板上v71閥led燈不亮，即大閥關(guān)閉）；
6.4.2. 按真空泵控制面板上的“start”鍵；
6.4.3. 檢查真空壓力表讀數(shù)是否在紅色箭頭指定的0.2pa位置；
6.4.4. 撿漏時(shí)先開慢抽（v72閥），當(dāng)真空計(jì)讀數(shù)為100pa以下時(shí)再打開快抽（v71閥）；
6.4.5. 當(dāng)真空閥路控制器轉(zhuǎn)換到manual狀態(tài)，打開v5，v8 閥，按“set”鍵確認(rèn)，當(dāng)容壓計(jì)和真空計(jì)的讀數(shù)均為零的時(shí)候，關(guān)閉v71閥，計(jì)時(shí)3分鐘，漏率不超過2pa/min。
6.4.6. 通過漏率測(cè)試，慢回填氮?dú)猓?.5slm）10分鐘，再快回填氮?dú)猓?slm）15分鐘。
6.4.7. 將爐門落下，待機(jī)做片。
7. 關(guān)機(jī)程序
7.1. 程序結(jié)束后依次關(guān)閉加熱開關(guān)，觀察dn-130p極限溫度控制器顯示溫度降至50攝氏度以下，關(guān)閉主控制器開關(guān)、傳送單元開關(guān)、顯示器開關(guān)；
7.2. 關(guān)閉照明燈電源、關(guān)閉ffu電源開關(guān)、關(guān)閉dn=130p極限溫度控制器電源開關(guān)、關(guān)閉控制器電源；
7.3. 關(guān)閉120vhe208v電源開關(guān)
7.4. 關(guān)閉真空泵：控制面板上的stop鍵，關(guān)閉真空泵泵冷卻水，關(guān)閉真空泵吹掃氮?dú)猓P(guān)閉真空泵本電源開關(guān)
7.5. 關(guān)閉冷卻水，氮?dú)?，壓縮空氣閥門。
8. 注意事項(xiàng)：
本lpcvd立式爐是集高溫、高壓、特氣于一體的工藝設(shè)備，為了保證人身和設(shè)備安全，所有人員必須嚴(yán)格遵守下列條款：
8.1. 電器安全
8.1.1. 不能去掉所有連鎖；
8.1.2. 爐體電源打開后，嚴(yán)禁打開爐體腔門，需要處理爐體端子時(shí)，必須先把高壓斷開，進(jìn)行這些操作時(shí)，必須兩人在場(chǎng)；
8.2. 特氣安全
8.2.1. 本設(shè)備使用硅烷作為工藝氣體，該氣體遇空氣極易燃且有毒，燃燒后產(chǎn)生白色粉末，對(duì)凈化環(huán)境產(chǎn)生影響。
8.2.2. 未經(jīng)允許，不準(zhǔn)打開或者關(guān)閉硅烷閥門，停送氣需要提前申請(qǐng)；
8.2.3. 硅烷氣體管路系統(tǒng)必須氣密性良好，一旦發(fā)現(xiàn)氣體泄漏，立即執(zhí)行硅烷泄露緊急避險(xiǎn)，進(jìn)行相關(guān)處理。
8.2.4. 氨氣，二氯二氫硅具有腐蝕性的特氣，操作者按照日常點(diǎn)檢要求進(jìn)行檢查。
8.3. 高溫安全
8.3.1. 出入舟時(shí)禁止打開傳送腔室前后門，防止?fàn)t門打開時(shí)受到熱輻射。
8.3.2. 必須待降至室溫且切斷加熱器斷路器的條件下進(jìn)行爐體加熱器部分的保養(yǎng)，維修。
8.4. 其它：
8.4.1. 執(zhí)行正常關(guān)機(jī)程序時(shí)不允許直接按紅色的“emergency”按鈕進(jìn)行急停操作；
8.4.2. 如遇特氣泄漏，火災(zāi)等緊急情況時(shí)可以按紅色的“emergency”按鈕。
