有哪些
單晶硅拉制工安全操作規(guī)程
單晶硅拉制是半導(dǎo)體制造中的關(guān)鍵步驟，涉及高溫、精細工藝和復(fù)雜設(shè)備操作。為了確保生產(chǎn)過程的安全和高效，以下是單晶硅拉制工需遵守的操作規(guī)程：
1. 穿戴防護裝備：工作前，員工應(yīng)穿戴好防護眼鏡、防塵口罩、防護服、絕緣手套和安全鞋，防止硅塵、熱輻射和電氣傷害。
2. 設(shè)備檢查：開始工作前，必須檢查設(shè)備運行狀態(tài)，包括熔爐、拉晶機、冷卻系統(tǒng)和電源，確保無異常。
3. 操作培訓(xùn)：所有員工需接受專業(yè)培訓(xùn)，掌握拉晶工藝和設(shè)備操作，未經(jīng)許可不得擅自操作。
4. 清潔工作區(qū)：保持工作區(qū)域整潔，避免硅塵積聚，減少潛在的火災(zāi)和爆炸風(fēng)險。
5. 嚴格按照程序操作：遵循既定的拉晶工藝流程，不得隨意更改參數(shù)，確保產(chǎn)品質(zhì)量。
6. 應(yīng)急準備：熟悉應(yīng)急預(yù)案，如遇緊急情況，立即啟動相應(yīng)措施，并及時上報。
目的和意義
單晶硅拉制工安全操作規(guī)程旨在保障員工的生命安全，防止生產(chǎn)事故的發(fā)生，同時保證產(chǎn)品的質(zhì)量和生產(chǎn)效率。通過規(guī)范操作，可以降低設(shè)備故障率，減少硅材料浪費，維護良好的生產(chǎn)環(huán)境，提升企業(yè)的整體運營效益。
注意事項
1. 在加熱過程中，嚴禁直接接觸高溫硅棒，以防燙傷。
2. 拉晶過程中，注意觀察熔硅液面，避免溢出造成火災(zāi)。
3. 使用電動工具時，確保接地良好，預(yù)防電擊事故。
4. 遇到設(shè)備異常，切勿自行維修，應(yīng)立即停機并通知專業(yè)人員處理。
5. 工作結(jié)束后，關(guān)閉電源，清理工作區(qū)域，確保下一次操作的順利進行。
6. 定期進行安全演練，提高員工應(yīng)對突發(fā)情況的能力。
遵循以上規(guī)程，單晶硅拉制工能夠確保自身安全，同時保證生產(chǎn)活動的有序進行，為企業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展貢獻力量。
單晶硅拉制工安全操作規(guī)程范文
1.檢查好晶軸、坩禍軸的旋轉(zhuǎn)、升降是否靈活均勻。如果過緊時調(diào)節(jié)爐膛上的密封圈,緊固到不漏氣為準。若擰時不漏氣但旋轉(zhuǎn)升降不靈活均勻,則要更換密封圈。
2.真空泵運轉(zhuǎn)的方向應(yīng)按規(guī)定的方向旋轉(zhuǎn),否則可能引起機械泵油倒灌到擴散泵中去。若真空泵電動機電源線有松掉或斷落現(xiàn)象時,應(yīng)將真空泵和擴散泵連接的塑料管拉掉,調(diào)整電動機旋轉(zhuǎn)方向。
3.使用擴散泵必須避免油的氧化。
4.封爐時須檢查爐門橡皮是否有油污物,是否能起密封作用,同時檢查爐膛內(nèi)有沒有多余物件。
5.增溫前要開冷卻水,并檢查水是否暢流,以防燒壞設(shè)備。
6.運動部件如導(dǎo)軌、絲杠等經(jīng)常要擦洗、潤滑。籽晶軸和坩鍋要經(jīng)常用紗布酒精或甲苯擦干凈。采用水冷卻要防止漏水生銹。
7.爐膛內(nèi)要保持光亮清潔。,工作之后應(yīng)及時清除氧化物,爐膛應(yīng)常關(guān)閉。爐子不工作時,必須保持真空度,以使石墨件不受潮濕且能延長擴散泵使用壽命。
8.密封圈和橡皮墊,切忌用油和酒精之類擦拭,也不得壓得過緊。
9.先開主機箱風(fēng)扇電動機使風(fēng)扇轉(zhuǎn)動,風(fēng)向向上,說明相序正確。再打開“增熱”按鈕。若發(fā)現(xiàn)相序不對,風(fēng)扇不轉(zhuǎn),應(yīng)立即停止增熱排除故障。
10.首先將細調(diào)調(diào)至中間位置進行主回路送電。打開操縱臺上的總電源開關(guān),操縱臺上各個開關(guān)與相應(yīng)的部分應(yīng)正常工作。總勵磁有指示才能開直流電動機(籽晶、坩堝、軸)。
11.主機箱中因有鼓風(fēng)機振動,每隔一段時間應(yīng)打開箱子檢查各螺釘是否有松動現(xiàn)象,如有松動應(yīng)立即擰緊。
12.操縱臺的邊線有其相位關(guān)系,操縱臺與回路之間也有同位關(guān)系,一經(jīng)調(diào)好之后,就不要再動。檢查修理時若要拆線必須做好標志,以免搞錯。
13.用化學(xué)方法腐蝕已清洗完畢的多晶硅(回爐多晶)后,要每塊仔細地檢查有無氧化物,若有蝕渣氧化物須重新腐蝕。
14.裝料時必須檢查石英坩堝有無裂紋,有無白點和氣泡,裝料要裝穩(wěn)。
15.籽晶必須裝牢,也不得裝歪(偏離軸心線不大于3℃)。
16.裝爐時必須檢查爐內(nèi)石墨件有無裂紋、氧化層和短路現(xiàn)象,增熱器和電極是否接觸良好。同時熱部件要裝得正,爐子漏氣時不準熔硅。
17.摻雜時一定要把籽晶提高,置于摻雜勺上方。
18.拉晶中途出了事故被迫停爐時,應(yīng)把石墨托升到最高位置。
19.不同廠、不同爐次多晶柱制高阻單晶時,每爐多晶柱應(yīng)分開使用,以利拉制高低阻單晶。
20.真空復(fù)合計的指示必須大于0.133帕(0.001毫米汞柱)以上才能開硅管增熱器進行測量,真空度要大于0.0133帕(0.0001毫米汞柱)才能進行除氣,除氣不能超過5分鐘。
21.用自來水冷卻時先打開7號水龍頭(注:水龍頭編號系根據(jù)設(shè)備具體情況確定),再打開4號水龍頭,最后開房內(nèi)的總龍頭(在開自來水之前要把調(diào)壓開關(guān)關(guān)緊。6號水龍頭也要關(guān)好),即可使用。
22.用水泵時需看7號水龍頭的流量,流量過大將調(diào)壓開關(guān)開大,過小將調(diào)壓開關(guān)關(guān)小,否則壓力過大會損壞設(shè)備。
23.若水槽水溫升高而自來水壓力不夠則按以下程序操作:
(1)將5號水龍頭打開,
(2)將7號水龍頭打開,爐內(nèi)熱水從地流出。
24.若發(fā)現(xiàn)外壓升高,應(yīng)將房內(nèi)總水龍頭關(guān)掉,然后關(guān)水泵。當爐子處在增熱狀態(tài)時應(yīng)按第22條使用。
25.裝好爐以后用電表測量電極與坩鍋軸是否短路,若有短路應(yīng)立即排除。
——摘自《機械工人安全技術(shù)操作規(guī)程》
